半导体器件流体动力学模型研究

摘要

主要讨论了亚微米半导体器件模拟的流体动力学模型方程的建立过程．流体动力学模型由玻尔兹曼传输模型方程的矩推导而来， 对玻尔兹曼传输模型采用不同的物理假设和数学近似， 可以得到不同形式的流体动力学模型．同时， 对各种不同形式的流体动力学模型的相互转换关系进行了系统分析， 给出了半导体器件各种输运模型的适用范围等特性， 为通用亚微米半导体器件模拟软件的模型选择提供了参考依据．