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一种新型的微机械电子隧穿加速度计

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摘要

介绍了一种新型的微机械电子隧穿加速度计 .利用体硅微机械加工工艺和硅 /玻璃静电键合技术成功研制出了一种三明治结构的隧穿加速度计 .为了有效减小低频噪声 ,在反馈回路里加入了振荡器和解调器 .测试结果表明 ,目前样品的分辨率约为 1 0 -6 gHz ,抗冲击能力达到 5 0g .

著录项

来源
《东南大学学报：自然科学版》 |2000年第6期|23-27|共5页
作者
杨拥军; 李立杰; 徐永青; 赵彦军; 梁春广; 魏同立;
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作者单位

东南大学微电子中心;

河北半导体研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH824.4;
关键词
加速度计; 电子隧穿; 微机械; 反馈回路; 振荡器; 解调器;

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