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施芹; 王寿荣; 周百令; 裘安萍;
东南大学仪器科学与工程系;
硅微型机械振动陀螺仪; 计算机辅助设计; 优化方法; ActiveX; Automation;
机译:硅微机械振动陀螺仪
机译:使用电共轭流体(ECF)的微型陀螺仪的概念和ECF微型陀螺仪电机的开发
机译:微型夹具可精确定位MOEMS陀螺仪中的120度硅双镜
机译:用于微型航天器的硅散装微机械振动陀螺仪
机译:高性能微机械振动速率和速率积分陀螺仪。
机译:原型微型硅微陀螺仪的开发
机译:硅微机械振动衍射光栅,用于微型高分辨率快速激光扫描
机译:用于使用平面制造技术制造的微型陀螺仪的磁悬浮轮
机译:具有垂直差分感测的集成全硅电容式微型陀螺仪和控制方法以及用于制备具有垂直差分感测的集成全硅电容式微型陀螺仪的过程
机译:I型结构的基于硅的微机械振动陀螺仪
机译:微型陀螺仪和用于操作微型陀螺仪的方法
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