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Experimental Research of DLC Film Deposited by Filtered Vacuum Arc Evaporation

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本文研究了过滤式阴极电弧沉积方法获得的类金刚石薄膜．实验研究电弧的稳定性和探针电流与沉积参数的关系，并系统研究了膜层的性能．膜层的摩擦性能也得到了研究．

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来源
《东南大学学报：英文版》 |1999年第1期|39-43|共5页
作者
朱纪军; 左敦稳; 王珉; 喇培清;
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作者单位

东南大学分子电子与生物电子学实验室;

南京航空航天大学机电工程学院;

兰州物理化学研究所摩擦润滑开放实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜技术;
关键词
类金刚石薄膜; 过滤式阴极电弧沉积; 原子力显微镜;

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