基于硼扩散的多晶硅太阳能电池背钝化工艺研究

摘要

本文主要研究一种基于硼扩散的多晶硅太阳能电池背钝化工艺,该工艺可有效的提高多晶电池Uoc可达10 mV.采用硼扩散后形成的硼掺杂层(BSG)作为多晶电池背面钝化工艺.在工艺上采用和磷扩散工艺类似的工艺步骤,通过优化沉积时间,推进氧化过程中的O2,N2流量等,达到最佳的Uoc提升效果,经过优化后的背面钝化工艺可以有效提高多晶电池的转换效率0.5%,从而实现了在多晶电池提高电池效率的目的.