背接触IBC电池制备中硼扩散工艺的优化及其钝化研究

摘要

介绍了硼扩散及其在IBC电池中的应用，硼扩散对IBC电池性能的影响，硼扩散工艺参数的优化，硼扩散硅表面的钝化研究，硼扩散及其在IBC电池中的应用硼扩散方法介绍采用的硼扩散方式为液态源管式炉扩散,扩散的过程主要分为预沉积和推进两个过程。