乙二醇辅助多层硅/硅直接键合

杨道虹; 徐晨; 沈光地

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乙二醇辅助多层硅/硅直接键合

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利用乙二醇的分子结构和氢键在 10万级的超净环境下成功地进行了多层乙二醇环境下的硅 /硅直接键合 ,并在氮气保护下 110 0℃热处理后进行了拉力强度测试 ,平均键合强度达到了 10MPa .SEM观测表明 ,在键合界面没有发现孔洞和空隙 .该方法同样适用于Ⅲ Ⅴ族化合物的直接键合 .这为发展多层结构、多功能集成的MEMS结构器件奠定了良好的工艺基础 .

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来源
《半导体学报》 |2005年第2期|395-398|共4页
作者
杨道虹; 徐晨; 沈光地;
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作者单位

北京工业大学电子信息与控制工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体激光器件;
关键词
微电子机械系统; 乙二醇; 键合;

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