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高志远; 郝跃; 张进城; 张金凤; 陈海峰; 倪金玉;
西安电子科技大学微电子研究所;
KOH腐蚀; 位错; GaN; 极性;
机译:通过光学和原子力显微镜确定不同厚度的GaN外延层中位错的类型和密度
机译:带有缓冲层的Si衬底上生长的AlGaN / GaN外延层中位错引起的表面坑的研究
机译:4H-SiC外延层中位错引起的表面生长坑的隧道原子力显微镜研究
机译:原子力显微镜光增强KOH溶液腐蚀GaN的位错评价
机译:用于稳定双极二极管的4H-碳化硅的低基面位错密度外延层的生长。
机译:接近无应变的GaN兼容缓冲层上GaN外延层中的超低穿线位错密度及其在异质外延LED中的应用
机译:减少外延gan层中的位错密度,从而增加了与缺陷相关的刻蚀坑的过度生长
机译:霍尔效应和光致发光显微镜研究INGaas / Gaas应变层外延中的位错形成。
机译:减少和/或消除SiC外延膜生长过程中靠近外延层/衬底界面的基面位错的预处理方法
机译:用原子力显微镜测定单晶位错方向的方法
机译:形成高迁移率器件的方法,包括在形成在半导体衬底中的凹口中的位错阻挡层上外延生长半导体层
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