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MOS型波导光学特性分析

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摘要

本文分析了MOS型波导中金属包层对波导光学特性的影响,给出了TE模传播常数和吸收损耗系数的近似计算公式.为了消除由金属包层引起的吸收损耗,结合计算实例讨论了氧化物缓冲层所需厚度的选择.

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来源
《半导体学报》 |1989年第4期|249-253|共5页
作者
马春生; 刘式墉;
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作者单位

吉林大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类场效应型;
关键词
集成光学; MOS型光波导; 光学特性;

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