热氧化磁控溅射金属锌膜合成一维ZnO纳米棒(英文)

摘要

利用退火热氧化射频磁控溅射金属锌膜的方法在 Si(111)衬底上制备了一维 Zn O纳米棒 ,同时用多种测试手段对样品的晶体结构、表面形貌和光学性能进行了研究 .XRD,SEM和 TEM的测试结果表明 ,Zn O纳米棒为单晶相六方纤锌矿结构 ,呈头簪状向外发散生长 ,直径在 30～ 6 0 nm左右 ,其长度可达几 μm.PL 谱测试结果表明 :在波长为 2 80 nm光的激发下 ,在 372 nm处有强的近带边紫外光发射和 5 16 nm处的较微弱深能级绿光发射 .说明合成的一维 Zn