热氧化金属锌膜制备氧化锌基材料紫外发光性质研究

摘要

该文介绍了采用电子束蒸发方法在Si衬底上制备出了高纯度的金属锌膜,然后通过二次退火得到了具有六角结构的高质量氧化锌多晶薄膜材料,另外,还采用电子束蒸发MgO薄膜作为缓冲层二次退火金属锌膜的方法制备出了高质量氧化锌多晶薄膜材料和MgZnO合金薄膜材料.并采用X射线衍射谱、反射谱和光致发光谱、低温光致发光谱等测量手段对样品的结构和光学特性进行了表征.对氧化锌的紫外发光和缺陷引起的可见光发射的强度变化进行了分析.实验结果表明利用电子束蒸发技术制备的ZnO薄膜材料,在经过氧气气氛下的二次退火处埋后,能够表现出较好的发光和结构特性;以MgO薄膜作为缓冲层制备出了高质量的MgZnO合金薄膜材料,这为开展MgZnO合金薄膜材料的研究开辟了新的途径.

目录

文摘

英文文摘

独创性声明

学位论文版权使用授权书

第一章引言

第二章ZnO的基本性质及低维材料的特性简介

2.1 ZnO材料的基本特性

2.2 ZnO的紫外激光的研究进展

2.4低维材料的研究意义

第三章ZnO薄膜材料的制备和表征方法简介

3.1电子束蒸发设备的原理和结构

3.2热退火装置的结构

3.3 X射线衍射的原理

3.4微区光致发光光谱仪的结构

3.5透射反射谱的测试原理

第四章热氧化Zn膜制备的纳米ZnO薄膜的结构和光学性质研究

4.1出发点

4.2样品的制备过程

4.4热氧化Zn膜制备的纳米ZnO薄膜的光学特性

§4.4.1室温光致发光分析

§4.4.2低温光致发光分析

4.5本章小节

5.1背景资料

§5 2半导体量子阱超晶格的基本性质

§5.3样品的制备

5.4以MgO为缓冲层制备的ZnO及MgZnO合金薄膜的结构研究

5.5以MgO为缓冲层制备的ZnO及Mg ZnO合金薄膜的光学性质研究

§5.5.1室温光致发光(PL)分析

§5.5.2低温光致发光谱分析

§5.5.3反射谱分析

5.6本章小节

第六章结论

参考文献

致谢

硕士期间发表论文