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何平; 刘理天; 田立林; 李志坚; 董业明; 陈猛; 王曦;
清华大学微电子学研究所;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室;
SOI; SIMOX; 热导率; 边界热阻;
机译:超薄单晶硅片的热导率测量
机译:热反射技术测量硅片上热氧化SiO2 sub>薄膜的热导率
机译:p型硅片在垂直方向上的铜内部吸杂特性
机译:退火序列对低剂量SIMOX中埋氧层结构的影响
机译:在好氧生物反应器填埋过程中评估好氧活性,并量化填埋生物覆盖物的气水输送特性
机译:两层埋有球形尖端圆柱电极的电阻率测量
机译:内氧化对分离 - 氧(SIMOX)工艺形成的掩埋氧化物氧缺氧和介电强度的影响
机译:退火诱导H(+)生成在sOI埋氧层中的反应和扩散;微电子工程
机译:确定沿垂直井眼的土壤层的热导率的方法,包括通过测量装置以局部方式确定每个远程钻井工具处的每个土壤层的热导率
机译:SIMOX基质中注入的氧离子量的测量方法,盒层厚度估算方法和标准试验件的基质
机译:检查用于燃料电池的气体扩散层质量的装置,能够测量两个方向上垂直的两个方向的气体扩散层样品的弯曲刚度
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