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田民波; 山田公;
清华大学材料科学与工程系;
日本京都大学离子工学实验室;
二氧化碳; 气体离化团束; 硅; 辐照效应;
机译:液团离子束对Si衬底表面的辐照效应
机译:通过低能量的Ar〜+束辐照蒸镀在SiO_2 / Si表面上的Au团簇形成Au纳米级表面图案
机译:在氧气气氛中用大气体团簇离子束辐照辅助Si的表面氧化
机译:n-Si表面中Ar快速原子束辐照效应的穿透深度
机译:使用射频电浆辅助化学束磊晶成长氮化铟磊晶材料于表面氮化处理矽(111)基板之研究 =Investigation of Epi-InN Materials Grown on Surface Nitride Si (111) Substrate by RF-CBE
机译:晴空表面辐照度的参数化及其对气溶胶直接辐射效应和气溶胶光学深度的估计
机译:乙醇团簇离子束对Si(100)表面的微图案化
机译:气体团簇离子束制备的Gasb衬底上的分子束外延:朝向改进的表面和界面;杂志文章
机译:气体团簇离子束对固体表面进行平面化的方法,固体表面平坦化设备及生产方法。
机译:通过在基板表面上辐射各种粒子束来粘结基体以增强粘结强度的方法及其上的粒子束辐照方法
机译:气体团簇离子束和固体表面平面化装置对固体表面进行平面化的方法
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