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赵红; 邹泽亚; 赵文伯; 刘挺; 杨晓波; 廖秀英; 王振; 周勇; 刘万清;
中国电子科技集团第四十四研究所;
MOCVD; AlN; 极性; 原子级光滑;
机译:通过MOCVD表征蓝宝石衬底上生长的AlN缓冲层和厚GaN层
机译:在1300℃以上的AlN的氢化物气相外延中,在1065℃下在蓝宝石衬底上生长薄保护AlN层。
机译:使用ALAS,ALAS / GAAs和ALN缓冲层通过低压MOCVD在硅基衬底上的GaN的外延生长
机译:氮化镓/蓝宝石界面和蓝宝石衬底上缓冲层的TEM表征通过MOCVD。
机译:蓝宝石衬底上具有纳米尺度厚AlN成核层的高质量无裂纹AlN薄膜的异质外延生长用于基于AlGaN的深紫外发光二极管
机译:低压金属有机化学气相沉积法研究基面蓝宝石和siC衬底上alN和GaN层初始生长的微观结构比较
机译:具有蓝宝石(0001)衬底,初始AlN层和横向过度生长的AlXGAYN(0001)层的用于外延生长的模板的制造方法
机译:在台面图案化衬底上外延生长的异质结构半导体激光器的制造方法-使用三甲基甲基镓作为源气体,在台面条纹侧面上通过电流阻挡砷化镓层的外延MOCVD生长
机译:MOCVD系统在蓝宝石衬底上生长单晶藻类层的研究。
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