AlGaN/GaN异质结辐射感生界面态电荷对二维电子气输运的影响

范隆; 李培咸; 郝跃

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AlGaN/GaN异质结辐射感生界面态电荷对二维电子气输运的影响

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根据荷电中心与自由载流子间的库仑散射作用 ,给出了异质结辐射感生界面态电荷对二维电子气 (2DEG)迁移率的散射模型 .计算了在不同沟道电子面密度下 ,界面态电荷密度与其所限制的迁移率之间的关系 .运用马德森定则分析了辐射感生界面态电荷散射对总迁移率的影响 .分析表明 ,辐射感生界面态电荷在累积到一定量后 ,会显著影响迁移率 ,一定程度上提高

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来源
《半导体学报》 |2003年第9期|937-941|共5页
作者
范隆; 李培咸; 郝跃;
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作者单位

西安电子科技大学微电子所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.02;TN304.23;
关键词
A1GaN/GaN异质结; 辐射; 界面态电荷; 二维电子气; 迁移率;

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