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赵有文; 董志远; 魏学成; 段满龙; 李晋闽;
中国科学院半导体研究所;
氮化铝; 晶体; 升华法;
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机译:升华法在SiC和AlN衬底上生长AlN块状单晶
机译:通过升华法生长的块状3C-SiC单晶的研究。
机译:钨罐升温升温升华生长升高的均质化45毫米ALN单晶
机译:ALN单晶升华生长的新技术
机译:alN涂层siC衬底上alN单晶的升华生长。阶段1
机译:ALN材料单晶膜外延生长的ALN材料和底物的单晶膜的制造方法
机译:制备单晶Aln材料膜和用于单晶Aln材料膜生长的基质的方法
机译:制造AlN单晶的方法和用于生长AlN单晶的基础材料
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