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霍明学; 刘晓为; 张丹; 王喜莲; 宋明浩;
哈尔滨工业大学MEMS中心;
压阻效应; 多晶硅; 应变系数;
机译:基于硫化mar的压阻效应和半导体薄膜压阻器在航天器中的应用
机译:多晶硅薄膜压阻式压力微传感器:设计,制造和表征
机译:电流诱导的不同温度下沉积的多晶硅纳米薄膜的再结晶及其对压阻灵敏度和温度系数的影响
机译:压阻效应的多晶硅纳米薄膜电阻响应线性和时间漂移
机译:通过铝诱导结晶获得的纳米晶压阻多晶硅膜,用于压力传感应用。
机译:不同沉积温度下多晶硅纳米薄膜的压阻灵敏度线性和电阻时间漂移
机译:不同沉积温度下多晶硅纳米薄膜的压阻灵敏度,线性度和电阻时间漂移
机译:多层多晶硅谐振器中的压阻式转换。
机译:耐高温阻气性薄膜的制造方法及耐高温阻气性薄膜
机译:制备薄膜压阻材料的方法,薄膜压阻材料,机器人和装置
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