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氮气流量对CrN薄膜结构及其性能的影响

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摘要

采用直流反应磁控溅射方法,在氮气和氩气混合气氛下并在镁锂合金上成功制备出了CrN薄膜,并研究了氮气流量对薄膜的择优取向,XRD显示氮气流量对CrN薄膜单向的生成以及择优取向影响很大,并且在氮气流量为20sccm时,薄膜对基底的耐腐性能的最佳.

著录项

来源
《青海师范大学学报：自然科学版》 |2016年第1期|10-13|共4页
作者
曹得莉; 张国喜;
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作者单位

青海师范大学民族师范学院物理系;

青海师范大学物理系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
CrN薄膜; 镁锂合金; 氮气流量; 结构; 耐腐性能;

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