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聂东林; 杨丽颖; 韩伟强;
山东建材学院;
清华大学;
硅薄膜; 衬底; 温度; 晶化; 纳米材料; 薄膜;
机译:衬底温度对电感耦合等离子体化学气相沉积法制备的氢化纳米晶硅薄膜结构,光学和形态性能的影响
机译:衬底温度对等离子体增强化学气相沉积法制备的氢化纳米晶硅薄膜微观结构和光学性能的影响
机译:衬底温度对双相纳米晶硅薄膜性能的影响
机译:衬底温度对分层生长氢化纳米晶硅薄膜性能的影响
机译:掺杂和未掺杂的氢化非晶硅薄膜中纳米晶硅夹杂物的影响。
机译:衬底温度和氧分压对脉冲激光沉积生长纳米晶铜氧化物薄膜性能的影响
机译:沉积纳米复合碳氮化硅薄膜的拉曼研究 通过RF磁控管溅射在不同的衬底温度下
机译:衬底温度和氢稀释比对热线化学气相沉积法生长纳米硅薄膜性能的影响
机译:一种在高衬底功率下使用稀释液在低衬底温度下制备低带隙非晶硅薄膜的方法
机译:利用AG纳米颗粒,由相同硅酸甘油酯构成的多晶硅纳米结构和包含多晶硅纳米晶的多晶硅薄膜电池制造多晶硅薄膜纳米结构的方法
机译:纳米硅薄膜的沉积方法,纳米硅薄膜和薄膜沉积系统
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