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刘翠青; 陈城钊; 邱胜桦; 吴燕丹; 李平; 余楚迎; 林璇英;
韩山师范学院物理与电子工程系,广东,潮州,521041;
汕头大学物理系,广东,汕头,515063;
纳米晶硅薄膜; 衬底温度; 微结构; 沉积速率;
机译:衬底温度对电感耦合等离子体化学气相沉积法制备的氢化纳米晶硅薄膜结构,光学和形态性能的影响
机译:衬底温度对等离子体增强化学气相沉积法制备的氢化纳米晶硅薄膜微观结构和光学性能的影响
机译:衬底温度对双相纳米晶硅薄膜性能的影响
机译:衬底温度对分层生长氢化纳米晶硅薄膜性能的影响
机译:掺杂和未掺杂的氢化非晶硅薄膜中纳米晶硅夹杂物的影响。
机译:衬底温度和氧分压对脉冲激光沉积生长纳米晶铜氧化物薄膜性能的影响
机译:沉积纳米复合碳氮化硅薄膜的拉曼研究 通过RF磁控管溅射在不同的衬底温度下
机译:衬底温度和氢稀释比对热线化学气相沉积法生长纳米硅薄膜性能的影响
机译:利用AG纳米颗粒,由相同硅酸甘油酯构成的多晶硅纳米结构和包含多晶硅纳米晶的多晶硅薄膜电池制造多晶硅薄膜纳米结构的方法
机译:利用等离子体沉积技术连续沉积纳米晶硅薄膜和多层绝缘层,非易失性存储器件及其形成方法的纳米晶硅层
机译:利用单晶硅纳米晶模板制备多晶硅薄膜和多晶硅薄膜晶体管的方法
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