激光烧蚀Si表面的等离子体的电子温度与电子密度

摘要

本文研究在大气中用 Nd:YAG 激光烧蚀固体 Si 表面的等离子体。用光学多道分析仪测量了等离子体的时间分辨发射光谱,用 N(Ⅱ)的两条谱线的相对强度计算了激光等离子体的电子温度,根据 N(Ⅱ)3995谱线的 Stark 展宽计算了等离子体的电子密度。