微晶硅应变计压力传感器的研制

摘要

本文介绍了n型微晶硅应变计传感器的研制工作。从应变计的灵敏系数K=-30.5和灵敏系数的温度系数α_k=-0.08%℃^(-1)等主要参数可以看到:用微晶硅制作的应变计,灵敏系数高,温度特性和线性度好,是传感器领域里很有希望的一种新器件。