关于硅应变计压力传感器的灵敏度的试验

摘要

压力传感器的灵敏度对于变送器的制造加工和性能质量有着重要的影响和作用。本文综合介绍应用硅应变压阻式传感器在玻璃烧结工艺中灵敏度的大小与传感器结构设计的关系，分析影响灵敏度大小的各种因素以及因素的水平，通过设计正交试验方案，对灵敏度各影响因素进行多组测试，通过试验和分析得出满足设计要求的传感器灵敏度的最优方案。