用沉积锰薄膜作为应变计的压力传感器

摘要

本文介绍了用沉积锰薄膜作应变计的压力传感器的特性、膜片组件的结构、膜片上的绝缘层、锰敏感应变计、焊接点、应变计上保护层的沉积方法、膜片稳定性处理以及压力传感器的输出特性曲线等。