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镶嵌纳米碳粒氧化硅膜的电致发光研究

     

摘要

采用复合靶磁控共溅射法制备了含纳米碳粒的氧化硅薄膜.测量显示,随着正向偏压的增加,来自Au/含纳米碳粒氧化硅膜/p-Si结构的电致发光峰位于650 nm处几乎不移动.

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