基于NiO纳米薄膜的NO_2传感器

摘要

以四水合乙酸镍(NiC_4H_6O_4·4H_2O)、氨水(NH_3·H_2O)和乙二醇甲醚(C_3H_8O)为前驱体,采用溶胶–凝胶提拉涂膜法制备NiO纳米薄膜,考察了提拉速度与涂膜层数对NiO纳米薄膜形貌结构与NO_2气敏特性的影响.结果表明,在提拉速度为400μm/s,涂膜层数为2层的条件下可获得表面形貌均一、疏松多孔的NiO纳米薄膜,其主要由直径为20～30 nm面心立方结构的NiO晶体颗粒构成.气敏检测结果表明,NiO纳米薄膜呈现p型半导体特性,在工作温度150℃条件下对NO2表现出良好的响应-恢复特性与可逆性,并对其气敏机理进行了探讨.