NiO基厚膜NO2传感器的研制

摘要

文中分别以化学沉淀法、柠檬酸法和均相沉淀法制备了NiO纳米材料，通过XRD方法对所制备材料的晶体结构进行分析表征。并以上述不同方法制备的NiO为基体材料，Cr2O3、WO3为掺杂剂制作了电导型厚膜NO2气体传感器。研究了工作温度、掺杂剂等对器件气敏性能的影响。结果表明：掺杂WO，的NiO基厚膜传感器对NO2有较高的灵敏度、良好的选择性及响应特性，并且对器件的敏感机理做了初步的分析。