基于共振隧穿压阻薄膜的GaAs基微加速度计研究

张斌珍; 李科杰; 张文栋; 薛晨阳; 王建

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基于共振隧穿压阻薄膜的GaAs基微加速度计研究

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主要研究一种应用共振隧穿压阻薄膜的G aA s基4梁式微加速度计,设计出共振隧穿薄膜以及G aA s基微加速度计的结构.利用有限元软件A nsys对加速度计进行了模态仿真.讨论了加速度计的加工工艺,并完成了基于加速度计共振隧穿压阻薄膜的压阻特性研究.首次采用控制孔技术制造了G aA s基微加速度计.

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来源
《中北大学学报：自然科学版》 |2006年第5期|448-451|共4页
作者
张斌珍; 李科杰; 张文栋; 薛晨阳; 王建;
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作者单位

北京理工大学机电工程学院;

中北大学电子测试技术国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TM390.2;
关键词
砷化镓; 共振隧穿压阻薄膜; 微加速度计;

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