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MEMS研究与发展前景

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摘要

在阐述MEMS技术的基本概念、意义、传感MEMS的基本模型和国内外研究状况的基础上,重点阐述MEMS技术的加工工艺及在未来的发展景前景.

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来源
《黑龙江大学自然科学学报》|2002年第1期|64-69|共6页
作者
赵晓峰; 温殿忠;
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作者单位

黑龙江大学电子工程学院,黑龙江,哈尔滨,150080;

黑龙江大学电子工程学院,黑龙江,哈尔滨,150080;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类理论;
关键词
MEMS; 微传感器; 微执行器; 各向异性腐蚀技术;
入库时间 2022-08-18 07:57:37

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