化学气相沉积工艺对碳化硅纤维毡热解碳涂层的影响

摘要

以丙烷(C3H8)为碳源气体、碳化硅纤维(SiCf)毡为沉积基体,通过化学气相沉积工艺(CVD)在SiCf毡中沉积热解碳(PyC),分析了不同沉积温度、氮气与丙烷的气压比(PN2/PC3 H8)和沉积时间对PyC沉积形貌和沉积厚度的影响.结果表明:沉积温度低于800℃时,PyC的沉积难以进行;系统总压为10 kPa、PN2:PC3 H8=2:1、沉积温度为900℃的条件下可以获得均匀致密的PyC层;P N2/P C3 H8、沉积温度的改变都可以使PyC层的形貌产生变化;对于厚度为5 mm的碳化硅纤维毡,沉积时间为6 h较为合适.