射频磁控溅射制备硼碳氮薄膜的拉曼光谱研究

摘要

硼碳氮(BCN)三元化合物薄膜具有原子可调组成比,并且能够展现出相应的材料特性,因此在力、热、光、电子学等领域拥有广阔的应用前景。本文采用射频磁控溅射法在硅衬底上通过调节通入的氮气流量,合成了一系列不同组分的BCN薄膜。发现随氮气流量的增加,所制备的BCN薄膜中氮原子浓度最高可达~14 at.%。为探讨BCN三元体系中的结构性质变化,利用拉曼光谱系统地研究了不同氮气流量所制备的BCN薄膜。结果表明,随氮的逐渐引入,除常见的拉曼D峰和G峰外,光谱中还出现了N=N的拉伸振动模式。另外,样品的无序度也导致了拉曼光谱发生了整体的变化。