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射频磁控溅射法制备纳米TiO_2薄膜的拉曼光谱分析

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摘要

采用射频磁控溅射法制备纳米TiO2薄膜,并应用显微拉曼光谱和电子显微镜对薄膜进行微区光分析.通过拉曼光谱研究,一方面有力地揭示出TiO2薄膜的晶体结构,另一方面对薄膜的生长方式提供了线索.薄膜聚集点和平常点上有统一的相结构,电子显微镜观察结果显示薄膜致密均匀.

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来源
《汉江师范学院学报》 |2007年第6期|38-40|共3页
作者
吴奎; 刘亚丽; 胡毅;
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作者单位

郧阳师范高等专科学校物理系;

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正文语种 chi
中图分类薄膜技术;固体缺陷;
关键词
TiO2薄膜; 磁控溅射; 拉曼光谱; 晶体结构; 生长方式;

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