碳氮薄膜的制备及其拉曼光谱研究

摘要

使用自行设计的真空系统,采用弧光放电等离子体的方法,成功制备了表面光滑致密的碳氮薄膜.牛顿环干涉图样进一步验证了薄膜厚度的均匀性.拉曼光谱显示了3个主要的散射峰和几个相对较弱的峰,拉曼光谱分析表明,膜的结构是一种无定形非晶碳氮膜,碳原子与氮原子在薄膜中以各种不同的键态存在.通过比较样品不同区域的拉曼光谱图发现,谱图几乎没有变化,说明制备的碳氮薄膜结构是均匀的.