B离子注入引起的金刚石薄膜体积膨胀现象

摘要

离子注入是获得金刚石N型或P型导电材料的有效途径之一.然而,离子注入对金刚石的晶格结构有破坏作用,造成金刚石薄膜体积的膨胀.本文对B离子注入合成Ib型金刚石薄膜后体积膨胀现象进行了研究,分析了引起体积膨胀的可能因素及原因.