低温电化学沉积ZnO薄膜及光学性质

摘要

利用阴极还原沉积原理,在水浴65℃的Zn(NO3)2水溶液中,以金属锌片为衬底电沉积制备了ZnO薄膜.采用拉曼光谱和低温光致发光谱(LTPL)对ZnO膜的光学性质进行了表征.实验表明,较小电沉积过电位制备的样品没有明显的与富锌缺氧有关的580 cm-1附近的拉曼峰,呈现373 nm的紫外光致发光峰,说明较小的电沉积过电位有利于高晶体质量的ZnO膜生长.