大气压中频氩/丙酮等离子体发射光谱诊断

摘要

目前,等离子体发射光谱应用于中频丙酮等离子体的研究鲜有报道.自建大气压氩/丙酮喷射中频交流放电等离子体装置,采用HR2000光纤光栅光谱仪对放电光谱进行记录,并对实验中的光谱信号进行分析诊断.研究结果说明,对大气压环境下,使用氩气为"载气",对可挥发有机溶剂进行等离子发射光谱分析是一种可行的技术;大气压下丙酮等离子体的活性成分和真空环境下丙酮等离子体产生的活性成分有很大区别,氧元素对两种气压下等离子体活性成分有很大改变;这种诊断方法对大气压下挥发性有机试剂的等离子体化学反应原理的研究,有重要的指导意义.此外,文中展示了大气压下丙酮沉积膜在两种光源下的形貌图,结果说明在一定实验条件下得到了连续的沉积膜.