溅射制备NiTi薄膜的马氏体相变

摘要

研究溅射制备的ＮｉＴｉ薄膜的马氏体相变行为。电阻随温度的变化曲线以及变温Ｘ射线衍射实验表明，当温度由４００℃连续下降到－１８０℃时，ＮｉＴｉ薄膜发生了Ｂ２→Ｂ→Ｂ‘’以及Ｂ２→１９’相变。