Polymer/Si AWG器件材料光学性质的准确测量

姜文海; 侯小柯; 崔占臣; 张大明

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Polymer/Si AWG器件材料光学性质的准确测量

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使用WVASE32型椭偏仪, 对Si基单层有机薄膜的测量方法进行分析; 并对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材料和氟化聚酯材料进行测量, 根据测量结果对阵列波导光栅(AWG)器件进行设计. 在124 nm到1 700 nm之间可测量出任意波长的折射率, 其均方差(MSE)均远小于1, 证明测量结果极其准确. 同时探讨了对多层有机薄膜及氟化聚合物薄膜的测量方法.

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来源
《吉林大学学报（理学版）》|2005年第2期|185-189|共5页
作者
姜文海; 侯小柯; 崔占臣; 张大明;
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作者单位

集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,长春,130012;

集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,长春,130012;

吉林大学,化学学院,长春,130023;

集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,长春,130012;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类物理光学（波动光学）;
关键词
列阵波导光栅; 聚合物; 光学系数; 椭偏仪;

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