柔性钙钛矿气体传感器敏感材料制备工艺研究

摘要

采用常温固相反应(研磨法)来制备金属氧化物半导体钙钛矿NiSnO_(3)气敏材料.通过气敏材料的敏感性能研究,发现不同元件由于工艺方面的差异,NiSnO_(3)气敏传感器对气体的响应有较大区别;在60℃以下,NiSnO_(3)材料可以在较低温度下工作,而且温度对其影响较小.混合Al_(2)O_(3)可有效改善NiSnO_(3)材料对NH_(3)的响应速率,但其恢复时间相对缓慢.混合碳纳米管可减小整个气敏元件的电阻值,同一元件重复进行气体检测实验能够较好地恢复效果.