四探针测半导体材料杂质分布

摘要

设计一个新的近代物理实验题目 .利用阳极氧化法对半导体材料逐次去层 ,采用四探针法测量其每层的电阻率及相应杂质浓度 ,可得出半导体材料的杂质分布 N (x) .实验设备简单 ,测量方便 ,结果准确 .并提供了自制四探针测量仪的方法 .