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双电测组合四探针法测试半导体电阻率测准条件

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简述了经典四探针法与双电测组合探法测量电阻率的优缺点,重点对双电测组合四探针法测量半导体电阻率的测准条件进行了阐述.并分别对不同形状的半导体材料如何测量进行了讨论,并给出了双电测组合法测量电阻率的准确计算公式.

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来源
《计量技术》 |2004年第3期|7-9,27|共4页
作者
宿昌厚; 鲁效明;
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作者单位

北京工业大学电子信息与控制工程学院,北京,10002;

中国计量科学研究院,北京,100013;

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正文语种 chi
中图分类半导体技术;
关键词
双电测四探针法; 薄层电阻; 电阻率;

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