溶胶—凝胶碳热法制备超细Si3N4粉的研究

摘要

本文报道了用溶胶－凝胶碳热氮化法、在高氮气压下（１．５ＭＰａ）各种参数对氮化硅生成的影响。在１７００℃／５ｈ下能得到初始粒径为几十ｎｍ的超细α－Ｓｉ３Ｎ４粉，氮含量达３８ｗｔ％以上，且无结晶的ＳｉＯ２和ＳｉＣ。