Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜的制备、结构及性能研究

摘要

研究了一种以乙二醇为稳定剂的新的BST前驱液,用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底上成功地制备出具有优良电学性能的Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜.乙二醇的加入有效地增加了前驱液的稳定性,并降低薄膜的结晶温度.利用XRD、DTA等技术分析了凝胶热处理过程中相变化情况及薄膜厚度与成相的关系.厚度200nm,O2气氛中700°C处理15min后的BST薄膜具有良好的介电性能,100kHz时介电常数ε>400,介电损耗D<0.02;P-E电滞回线说明薄膜具有良好的铁电性能,剩余极化Pr约为1.4μC/cm2,矫顽场强Ec约为48kV/cm.