基于组合薄膜制备技术的成分梯度薄膜(La_(1-x)Ca_x)VO_3(0≤x≤1)的制备和热电性能研究

摘要

采用"组合激光溅射制膜技术",制备了高质量(La1-xCax)VO3(0≤x≤1)成分梯度薄膜。采用组合热电测量系统和组合XRD系统测量了(La1-xCax)VO3(0≤x≤1)成分梯度薄膜的热电性能和晶体结构。在0≤x≤1范围内,(La1-xCax)VO3形成了固溶体。800℃生长的LaVO3薄膜具有最大的功率因数(α)值0.6μW/cm K2。V离子化学价对LaVO3的热电性能影响很大,当它由+3向+2变化时,可能获得良好的热电性能。