用化学溶液沉积方法制备Pr0.7Ca0.3MnO3薄膜

摘要

混合价态的锰氧化物Pr1-xCaxMnO3 薄膜是近年来国际上超导体以及巨磁电阻领域的研究热点之一.本文采用化学溶液沉积方法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上制备出Pr1-xCaxMnO3薄膜, 降低了材料成本; 前驱体中不使用鳌和剂, 简化了工艺.采用XRD、FT-IR、SEM、AFM、EPMA以及俄歇探针仪等方法对所制备的薄膜进行了表征.结果表明, 实验中以较低的温度实现了PCMO钙钛矿结构的晶化; 薄膜平整光滑致密, 各组分分布均匀, C杂质含量处于很低的水平.