全方位离子注入沉积复合镀膜计算机测控系统

摘要

文章提出的薄膜复合制备方法与装置的测控系统能充分利用磁控溅射、真空阴极弧光蒸发、离子注入等方法,为全方位注入沉积复合镀膜表面改性提供所需等离子体,使之可以根据不同的工艺要求设计膜体的成分结构,从而很容易获得不同的改性膜层,来提高膜体的硬度、抗氧化性及热稳定性等.