钛合金零件表面全方位离子注入和沉积复合强化处理方法

摘要

本发明公开了一种钛合金零件表面全方位离子注入与沉积复合强化处理方法，它涉及一种金属材料表面全方位离子注入与沉积强化处理的方法。它解决了表面抗磨损层与钛合金零件基体间残余应力大、结合力和承载能力差，易从钛合金基体上剥落的问题。合成方法按以下步骤进行：(一)钛合金零件超声清洗；(二)钛合金零件氩离子溅射清洗；(三)气体离子注入；(四)PIII&D法沉积TiN；(五)PIII&D法沉积Ti(CN)；(六)PIII&D法沉积TiC；(七)合成类金刚石碳膜或MoS2膜，即得到表面有复合强化层结构的钛合金零件；步骤(二)至(七)在真空室内进行。本发明中复合强化层上的DLC的磨损寿命比相同厚度的单层DLC提高10倍以上，摩擦系数低于0.1。