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李乃平; 刘三清; 应建华;
华中理工大学固体电子学系;
硅四端型; 膜片式; 压力传感器;
机译:硅膜片式压力传感器传感差压变送器主体的设计方法
机译:具有凸起膜和辅助双功能青蛙结构的MEMS压力传感器的设计与分析,用于低压测量
机译:一种综述:使用硅迁移技术,用于压力传感器的密封空腔上的晶体硅膜
机译:用于轮胎压力监测系统(TPMS)应用的单片式 - 型型硅散装 - 微机械加速度计和压力传感器
机译:高效四端子钙钛矿-硅鞣质的开发
机译:新型谐振压力传感器音叉结构的设计与分析
机译:单片四端子硅压力传感器的补偿和校准
机译:用于高灵敏度压力传感器的硅/多孔硅复合膜
机译:压差或绝对压力传感器,包括夹在硅膜板上的硅支撑板,硅支撑板在300到500摄氏度之间粘合在一起
机译:硅膜片式真空压力传感器装置及使用该装置的压力测量方法
机译:硅膜片式压力传感器
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