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IBED和Sol-gel制备方法对二氧化钒薄膜性能的影响

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采用离子束增强沉积(IBED)法和溶胶-凝胶法(Sol-gel)在SiO2/Si衬底上制备了具有半导体相-金属相转换特性的二氧化钒薄膜.对两种方法制备薄膜的性能测试结果表明,其转换温度、相变滞豫、热电阻温度系数等都有较大差别.

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来源
《哈尔滨理工大学学报》 |2003年第5期|88-89,92|共3页
作者
袁宁一; 李金华; 李格;
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作者单位

江苏工业学院,功能材料实验室,江苏,常州,213016;

中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;

江苏工业学院,功能材料实验室,江苏,常州,213016;

中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;

江苏工业学院,功能材料实验室,江苏,常州,213016;

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正文语种 chi
中图分类薄膜技术;薄膜的性质;
关键词
二氧化钒薄膜; 离子束增强沉积; 溶胶-凝胶法;

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