深亚微米工艺下互连线的串扰建模

摘要

深亚微米工艺下互连串扰问题成为IC设计中的"瓶颈"。在充分考虑互连线的电容耦合效应和电感耦合效应的前提下,提出了一种有效估算互连串扰噪声的方法。实验数据表明,该方法能有效估算各种工艺下的互连串扰,并能应用于不均匀互连线的情况,在效率和精度上达到了较好的折中。